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ASML断供中芯国际,停止交付EUV光刻机?官方正式回应

发表时间:2019-11-07 23:07:00  来源:野望文存  浏览:次   【】【】【

昨天,业内传出消息称,全球最大的光刻机供应商、全球唯一的EUV(极紫外线)光刻机供应商荷兰ASML因担心刺激到美国,所以停止了向中芯国际交付其去年订购的EUV光刻机。随后业内不少媒体纷纷报道称,ASML断供中芯国际。


资料显示,中国最大的晶圆代工厂中芯国际(SMIC)于2018年4月向ASML采购了一台当时最先进的EUV光刻机,价值约1.2亿美元。根据原定计划,设备本来应该于2019年底交付,到2020年中期完成安装。而EUV光刻机则是制造7nm及以下更为先进的半导体制程工艺的关键。这也是ASML首次向中国公司出售其最先进的EUV光刻机。


昨日,据《日经新闻》报道,ASML已决定暂时中止向中芯国际交付EUV光刻机,而原因则可能是“担心刺激到美国”。报道称,ASML之所以采取这一举动,是因为美国仔细审查了中国技术供应链中的所有主要公司,例如全球最大的芯片制造商台湾台积电,该公司向华为提供芯片。


另据一位了解ASML的消息人士说:“ ASML目前决定推迟EUV设备的交付,是因为现在就将最先进的芯片设备运往中国,会让美国政府感到不安。”不过,消息人士也补充说:“ASML不想让中国及其中国客户感到不安(因为延误),因为那是其增长最快的(技术)市场。”这位知情人士说,原定于2019年底交付,到2020年中期完成安装。


资料显示,ASML销售额的大约16%来自美国,而其销售额的19%则来自中国。


对于网上的各种传闻,ASML公司很快做出了澄清。


ASML公司表示:关于日经新闻昨日报导,其标题和内容呈现造成误导,本公司在此提出澄清。我司不对任何客户做comment。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,因此,“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的,ASML系遵循法规行事。


此外,中芯国际今天也回应称,“EUV还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。


目前尚不清楚是ASML推迟向中国中芯国际发货的原因是由于美国当局的直接或间接压力,还是真的只是因为ASML也在寻求荷兰政府的新出口许可证。不过,可以肯定的是,ASML如果真的大幅推迟,甚至停止中芯国际交付EUV光刻机,无疑将对中芯国际后续先进制程的研发造成负面影响。


编辑:芯智讯-林子

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责任编辑:蔡学森